田中(秀)研究室は、江刺研究室の時代から蓄積された豊富な技術、ノウハウ、文献情報などに基づき、マイクロデバイスに関連する産業界の研究開発を積極的に支援します。当研究室では、研究開発のステージ、顧客企業のMEMS技術に関する経験などに応じて、小片ウェハでの原理実証から4～6インチウェハでの試作まで様々な案件に対応できます。小片ウェハでの原理実証は、主に当研究室のクリーンルームとマイクロ・ナノマシニング研究教育センターを利用して、最小限のコストとリスクで行えます。その際、企業から研究員を受け入れ、MEMSの全工程を経験して頂き、帰任後に研究開発のリーダーやキーパーソンとなる研究者・エンジニアを育成します。社会人大学院生として博士の学位を取得することも可能です。4～6インチウェハでの試作は、主にマイクロシステム融合研究開発センター（西澤潤一記念研究センター）を利用して行います。本学で試作したデバイス等を一定の条件のもと外販することも可能です。マイクロシステム融合研究開発センターでは、時間あたりの利用料を支払って各装置を単純利用することもできます（試作コインランドリ制度）。一方、技術ソリューションが明確ではない場合、研究開発課題が挑戦的な場合、あるいは御社に十分な技術やノウハウがない場合には、共同研究開発を提案します。無用な遠回りを避けるためにも共同研究開発パートナーとして当研究室を御検討ください。